半导体实验室气路

此项目客户是山东一家半导体公司，实验使用的干法刻蚀设备，涉及到的气体有六氟化硫、氯气、硅烷、氢气、氦气等8路气体。为实验人员提供稳定、高纯、安全的实验环境

客户需求：

（1）实验室内没有比较合适的位置做气瓶间

（2）压端用气设备对压力和流量希望能动态调节

（3）气体使用压力有低压高压要求，使用的钢瓶尺寸大小各异

（4）能做到人机分离，尾气排放这一块要求能直接排放不产生环保问题

解决方案：

（1）提供燃爆类移动气房，智能化控制，可实现现场及远程报价，集中化控制

（2）提供毒腐燃爆类专用Hisptech 型专用全自动气体控制柜，自动切换，带有二次调压、三级调压，降低调压阀两侧压力差，保证使用寿命。配置专业开发的软件，实现人机分离智能化操作

（3）提供Hisptech电热分解式+高分子WET式Scrubber，采用超高温夹套分解式与超高压水分子吸附处理方式，处理效率≥99.999%