VMB阀门分配箱

ꄴ前一个： 无
ꄲ后一个： 无
基础配置 The underlying configuration

■尾气排放功能;

■具备一个预留扩充点

■气体分配柜的负压应持续监控。

■防爆外柜，烤漆或不锈钢外壳包覆

■紧急切断功能,风压事故报警功能等

■为保证安全，所有阀门管件须使用优质的国际知名品牌

■符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗、自动关闭门、抽风外壳

■带外吹扫、带抽真空，自动紧急远程切断、事故报警，泄漏报警对接，通风出口等

■每个stick 可配置：手动隔膜阀、气动隔膜阀、压力表，压力传感器、减压阀，单向阀，过滤器、安全阀等

 

适用气体 Applicable gases

易燃性，腐蚀性，毒性气体，诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等

 

应用行业  Application Industry

Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED，研究所，高校实验室等

 

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产品简介

VMB阀门分配箱，是一种内嵌多支路，实现高纯气体或液体分流的阀门箱。VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点，压力可被单独地调控，从而可同时满足不同应用的需求。它还可提供吹扫功能和真空抽气功能，因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维。除此以外，设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下，吹扫某一支路或对其进行真空抽气