单瓶手动特气柜(GC)

单瓶工艺气瓶,手动

基础配置 The underlying configuration

■氦检报告

■手动操作

■高压测漏功能

■单工艺瓶供气

■带自清洁功能

■4寸排风口及阀门

■配置吹扫抽真空功能

■带钢丝玻璃观察窗、自动关闭门、抽风外壳

 

可选配置 Optional configuration

■喷淋头

■带加热盘面

■高温探测警

■烟雾感应器

■配置电子磅秤

■配置 UV/IR火焰探测器

■前端0.1μ过滤器,后端0.001μ终端过滤器

 

适用气体 Applicable gases

燃爆性气体,如氢气(H2), 一氧化氮(N2O), 甲烷(CH4),乙炔(C2H2)等

毒腐性气体,如二氧化硫(SO2)、硫化氢(H2S)、一氧化碳(CO)、二氧化氮(NO2)、氯化氢(HCL)等

 

应用行业 Application Industry

 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上,适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。

产品简介